半导体工业是现代工业的重要组成部分，其生产过程中会产生大量的废气。其中，含砷废气是一种难以处理的有毒废气，因其含有高浓度的砷元素，对人体和环境造成的危害性非常大。因此，半导体含砷废气处理一直是工业领域的难题。

半导体含砷废气的成分

半导体含砷废气的主要成分是砷化氢（sH3）和三甲基砷（TM）。其中，砷化氢是一种无色、有毒、易燃的气体，具有强的损伤作用，能破坏人体细胞的DN，导致中毒；而三甲基砷则是一种有机砷化合物，同样具有毒性。

半导体含砷废气的治理方法

半导体含砷废气的治理方法主要有活性炭吸附法、燃烧法和生物法等。

1.活性炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就是利用多孔固体吸附剂（活性碳、硅胶、分子筛等）来处理有机废气，这样就能够通过化学键力或者是分子引力充分吸附有害成分，并且将其吸附在吸附剂的表面，从而达到净化有机废气的目的。吸附法目前主要应用于大风量、低浓度（≤800mg/m3）、无颗粒物、无粘性物、常温的低浓度有机废气净化处理。

活性炭净化率高（活性炭吸附可达到90%以上），实用遍及，操纵简单，投资低。在吸附饱和以后需要更换新的活性炭，更换活性炭需要费用，替换下来的饱和以后的活性炭也是需要找专业人员进行危废处理，运行费用高。

2.燃烧法

燃烧法是将含砷废气进行燃烧，将有害成分氧化为无害物质，燃烧法具有处理效率高、处理后的废气易于排放等优点，但其设备投资较大，

综合来看，不同的半导体含砷废气治理方法各有优缺点。在实际应用中，应根据工业生产的具体情况和环保要求进行选择。例如，对于处理量较大的含砷废气，可以选择物理吸附法或化学吸附法；对于处理效果要求较高的含砷废气，则可以选择吸收法、燃烧法。

3.生物除臭法

生物除臭法是通过微生物的生理代谢将恶臭物质加以转化，达到除臭的目的。目前多采用生物滤池除臭法。生物滤池除臭法是把收集的臭气先经过加湿处理，再通过长满微生物的、湿润多孔的生物滤层，利用微生物细胞对恶臭物质的吸附、吸收和降解功能以及微生物细胞个体小、表面积大、吸附性强和代谢类型多样的特点，将恶臭物质吸附后分解成CO2和其他无机物。

生物除臭法的缺点是设备占地较大。其优点是较经济，除臭效率高，可达到90%以上，生物填料来自天然的富含有机成分的多孔渗水填料构造简单，操作方便，无需液体循环系统。

综合来看，不同的半导体含砷废气治理方法各有优缺点。在实际应用中，应根据工业生产的具体情况和环保要求进行选择。例如，对于处理量较大的含砷废气，可以选择物理吸附法或化学吸附法；对于处理效果要求较高的含砷废气，则可以选择吸收法、燃烧法。

此外，为了更好地保护环境和人类健康，一些新型的半导体含砷废气处理技术也在不断涌现。例如，光催化氧化法、电化学处理法、生物处理法等。这些新型技术具有更高的处理效率和更好的环保性能，为半导体含砷废气的治理提供了更多的选择。

光催化氧化法是一种利用光能将含砷废气中的有害物质转化为无害物质的方法。该方法具有操作简单、处理效率高、环保性能好等优点，但其设备投资较大，需要消耗一定的能源。

电化学处理法是一种利用电化学反应将含砷废气中的有害物质转化为无害物质的方法。该方法具有处理效率高、环保性能好、能源消耗少等优点，但其设备投资较大，且需要处理后的废水中含有一定的有害物质。

生物处理法是一种利用微生物的代谢作用将含砷废气中的有害物质转化为无害物质的方法。该方法具有处理效率高、环保性能好、能源消耗少等优点，但其处理效果受微生物种类和环境条件的影响较大，且需要处理后的废水中含有一定的有害物质。

综上所述，半导体含砷废气的治理是一个复杂的过程，需要根据具体情况选择合适的方法。未来，随着环保要求的不断提高和技术的不断进步，半导体含砷废气的治理将会更加完善和有效。

来源：环保