半导体工厂的建立和发展已经成为科技产业的重要支柱，然而，随着工业化程度的提高，半导体工厂在生产过程中产生的废气也日益增多，这不仅对环境造成了严重污染，也对人类健康构成了威胁。因此，如何有效地处理半导体废气，实现环保与效益的双重胜利，已经成为我们面临的重要问题。

首先，我们需要了解半导体工厂废气的主要组成。这些废气主要包括硅烷、氮化物、氧化物等有害物质，它们对环境和人体都有很大的危害。因此，半导体工厂废气处理的首要任务就是将这些有害物质有效地去除或转化。

目前半导体废气处理主要采用物理法、化学法和生物法。物理法主要是通过改变废气的物理状态，如温度、压力、湿度等，使其达到排放标准。化学法主要是通过化学反应，将废气中的有害物质转化为无害或低害物质。生物法主要是利用微生物的生物降解作用，将废气中的有害物质转化为无害物质。

然而，这些方法虽然在一定程度上可以达到废气处理的目的，但是也存在一些问题。例如，物理法处理效果受环境条件影响大，化学法处理过程复杂且可能产生二次污染，生物法需要长时间才能见效。因此，如何找到一种既有效又环保的废气处理方法，成为我们需要解决的问题。

目前生物除臭设备成为一种新兴的废气处理工艺。

生物除臭设备主要是通过在适宜的环境条件下，微生物不断吸收营养物质，并按照自己的代谢方式进行新陈代谢活动。废气中生物处理正是利用微生物新陈代谢过程中需要营养物质这一特点，把废气中的臭气转化成简单的无机物如二氧化碳、水，以及细胞物质等。

臭气源点的臭气经集气系统负压收集后，通过离心风机的抽送，被直接导入预洗涤—生物过滤池。前段具有有效除尘、调节臭气的湿温度、消减峰值浓度冲击、去除部分水溶性物质等功能。在后段的多级生物过滤床内，通过气液、液固传质由多种微生物将致臭物质降解。

生物滴滤废气处理设备特点

1、设备主体采用不锈钢304或者不锈钢201、PP板、碳钢材质结构。

2、生物除臭设备使用寿命长

3、运行能耗少

4、无二次污染，去除率高达95%以上。

来源：环保