环境部HJ1093-2020蓄热燃烧法工业有机废气治理工程技术规范 明确：

于是乎，很多环评、验收、监测等报告中RTO的净化效率就取95%甚至更高。实际上，文件中该条款所在小节是：

如上图所示

RTO净化效率95%甚至更高是工艺设计的效率。实际运行时受设备、运维、工况等多种因素影响，通常难以长期稳定达到95%甚至更高。

广东省环境厅粤环办〔2021〕92号 关于指导大气污染治理项目入库工作的通知 中明确的：

此外，也不是所有行业、所有工段VOCs都动不动就上焚烧

请看深圳市生态环境局关于2021年备案项目环境影响评价文件复核发现问题及处理意见（一）的公告内容。

来源：生态环境部门

以上资料来源于网络，没有最好的处理工艺，只有最合适的处理工艺，要根据实际情况选择合适的处理工艺。