一、电子芯片厂酸性废气概述

随着科技进度，我国芯片制造行业飞速发展，行业技术日新月异，产品规模持续走高。芯片在制造工艺中使用各种酸液清洗、刻蚀芯片等过程中产生HF、HCl、硫酸雾等酸性气体。对于芯片厂企业在生产工艺过程中产生的腐蚀性气体（如酸、碱性废气）的治理，目前大多企业采用液体吸收法治理，采用液体吸收法治理该废气，关键在于废气净化设备的选择。酸性废气治理通常采用喷淋塔，通过酸碱中和反应来净化酸性气体。

二、喷淋塔工作原理

喷淋塔净化原理是将气体中的污染物质分离出来，转化为无害物质，以达到净化气体的目的。它属于微分接触逆流式，塔体内的填料是气液两相接触的基本构件，塔体外部的气体进入塔体后，气体进入填料层，填料层上有来自于顶部喷淋液体及前面的喷淋液体，并在填料上形成一层液膜，气体流经填料空隙时，与填料液膜接触并进行吸收或综合反应，填料层能提供足够大的表面积，对气体流动又不至于造成过大的阻力，经吸收或综合后的气体经除雾器收集后，经出风口排出塔外。

三、电子芯片厂废气处理工艺说明

生产车间酸洗池酸雾废气经风罩收集，经管道再进入酸性废气净化设备，酸雾净化塔体放置二层填料层并配置二级水浴装置，并在循环水池内加氢氧化钠（简称碱），以中和废气中的酸雾，酸雾处理塔的上端喷头喷出吸收液均匀分布在填料上，废气与吸收液在填料表面上充分接触，由于填料的机械强度大、耐腐蚀、空隙率高、表面大的特点，废气与吸收液在填料表面有较多的接触面积和反应时间。净化后的气体会饱含水分经过塔顶的除雾装置去除水份后直接排放大气中。

四、喷淋塔应用范围

酸性废气净化设备广泛用于电子、化工、电镀、五金、制药、印染、半导体制造等行业中产生的有害废气，如：盐酸（HCI)、氟化氢气体（HF）、氨气（NH3）、硫酸雾（H2SO4)、铬酸雾（CrO3)、氢氰酸气体（HCN)、碱蒸汽（NaOH)、硫化氢气体（H2S)、福尔马林（HCHO）等水溶性气体。